真空接觸器是否有故障，可以根據其能否準確無誤地合閘、分閘并可靠地保持在合閘、分閘位置來判斷。主回路方面的故障，可以從接觸器例行的檢修和維護中發現并排除。

主要的常見故障原因分析如下:

不能儲能:不能儲能是真空接觸器較常見的故障之一，特別是棘輪、棘爪驅動的儲能機構，故障概率較高。儲能機構要完成儲能動作，主要取決于儲能電動機、驅動機構、定位件這3個環節。緊緊抓住這3個環節，很容易找出故障的癥結。

無合閘動作:發生無合閘動作故障，主要與合閘電磁鐵是否吸合、儲能是否到位、定位件動作是否正常有關。

空合:有合閘動作但合不上閘稱之為空合。在分析此類故障時，首先應從合閘保持(鎖扣)入手分析，然后再分析是否與儲能部分有關。

不分閘:在此需強調指出，接觸器發生拒動、空合等情況時，在分析檢修接觸器主體之前，要充分判斷一下原因是否出在控制及二次元件如輔助開關、端子排等方面，然后再進行接觸器的分析診斷。